特種氣體除了應(yīng)用于太陽(yáng)能電池、集成電路制造等，還可以應(yīng)用于液晶顯示器、光纖，下面深邦特工業(yè)氣體就為大家介紹一下特種氣體是怎么應(yīng)用于液晶顯示器、光纖的。

　　一、液晶顯示器

　　1、TFT/LCD的應(yīng)用

　　TFT (薄膜晶體管) / LCD (液晶顯示器) 的每個(gè)像素點(diǎn)都是由集成在自身上的TFT來(lái)控制，是有源像素點(diǎn)。因此, 其具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、全彩化、速度快、對(duì)比度和亮度高、屏幕觀察角度大、分辨率高等優(yōu)點(diǎn), 是目前主流的平面顯示設(shè)備。

　　2、TFT/LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用

　　TFT/LCD的生產(chǎn)包括TFT陣列(包括薄膜、光刻、刻蝕) 、彩色濾光片(包括黑矩陣膜、紅綠藍(lán)膜、透明導(dǎo)電層) 、面板、模組等工序。薄膜工序, 通過(guò)化學(xué)氣相沉積, 在玻璃基板上沉積SiO2、SiNx、a2Si、n 型a2Si薄膜。使用的特種氣體有SiH4、PH3、NH3、NF3 等。干法刻蝕工序, 在等離子氣態(tài)氛圍中選擇性腐蝕基材。通常采用SF6、HCl、Cl2 等氣體。

　　二、光纖

　　光纖是當(dāng)前信息傳輸中無(wú)可替代的傳輸介質(zhì)，全球80%以上信息量通過(guò)光纖傳輸。光纖的主要成分是SiO2。從目前制造光纖的工藝來(lái)看, 其主要原材料是SiCl4。當(dāng)然根據(jù)光纖的品種不同, 類(lèi)型不同, 芯層摻雜微量元素的比例和成分也會(huì)不同。而芯層摻雜的不同決定著光纖的特性。根據(jù)國(guó)際電信聯(lián)盟( ITU) 的相關(guān)規(guī)定, 光纖的種類(lèi)主要分為多模光纖(G1651光纖, 主要運(yùn)用于局域網(wǎng)的傳輸) 、單模光纖( G1652 主要運(yùn)用于城域網(wǎng)、局域網(wǎng)和長(zhǎng)途干線的傳輸) 、色散位移單模光纖(G1653) 和截止波長(zhǎng)單模光纖(G1654) 、非零色散位移單模光纖(G1655 /G1656, 主要用于長(zhǎng)途干線) 。

　　光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用通信用光纖大多數(shù)是由石英材料組成的。光纖制造過(guò)程包括光纖預(yù)制棒制備、光纖拉絲等步驟。

　　目前, 光纖預(yù)制棒制備最常用的是兩步法: 一是采用氣相沉積工藝, 如外部氣相沉積法(OVD) 、軸向氣相沉積法(VAD) 、改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積法(MCVD) 、等離子化學(xué)氣相沉積法( PCVD) 等,來(lái)生產(chǎn)光纖預(yù)制棒的芯棒(Core2rod) ; 第二步是在氣相沉積工藝獲得芯棒的基礎(chǔ)上加入外包層(Over2cladding) , 制成光纖預(yù)制棒。

　　化學(xué)氣相沉積的核心反應(yīng)是SiCl4 和GeCl4 在氫、氧火焰環(huán)境下, 水解生成SiO2 和GeO2 粉塵( SOOT) 。其中SiCl4、GeCl4 需要加熱, 用蒸氣或氬氣攜帶的方式送入反應(yīng)室。常用的其它特氣還有CH4、CF4、Cl2、SF6 等。