深圳高純氣體管道材料的好壞影響高純氣體管道的質(zhì)量，那挑選管道材料時都要考慮哪些方面的因素。

管道材料特性對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性 、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性 、抗腐蝕性幾個方面。

1.氣體滲透性

氣體從壓力(或分壓力)高的一側透過材料向壓力(或分壓力)低的一側流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因為空氣中氧氣和氮氣分壓力.大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

實驗數(shù)據(jù)表明， 對于輸送 ppm 級及更高純度要求的氣體， 從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管， 如果我們不恰當?shù)剡x用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟于事的。

2.出氣速率:

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì) ，如氮 、碳氫化合物等 ，在高純氣體輸送過程中，這些雜質(zhì)會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在 ppb 以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

3.吸附性:

由于水分等雜質(zhì)是極性分子 ， 吸附性很強。 橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì) ，銅材對水吸附性極強 ，使用這些材料輸送高純氣體易被污染 ， 除了輸送ppm 級以下的氧氣會使用紫銅管外， 高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯 ) 。

4. 表面粗糙度和耐磨性:

為了 輸送的氣體純凈度， 要求管道材料內(nèi)表面有一個極高的光潔度， 這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。

管材比較光潔而且耐磨， 可以在氣流高速 沖刷下，產(chǎn)生 的金屬粒就少 ，試驗資料數(shù)據(jù)粒子數(shù)表明不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少 ，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

5.抗腐蝕:

微電子生產(chǎn)中， 經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體 ，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體 ，還會發(fā)生安全事故。

6. 內(nèi)表面處理

為了進一步改善管道材料特性， 對管道內(nèi)表面進行處理，一般有三種方法 ：酸洗鈍化(AP ) ，光亮退火(BA) 和 電解拋光 (EP) 處理 。

試驗資料和實踐都證明，通過表面處理后 。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱