稀薄氣體中的自持放電（自激導(dǎo)電）現(xiàn)象。由法拉第第一個(gè)發(fā)現(xiàn)。它包括亞正常輝光和反常輝光兩個(gè)過渡階段。輝光放電主要應(yīng)用于氖穩(wěn)壓管、氦氖激光器等器件的制造。 

本實(shí)驗(yàn)在高頻電壓與He氣流的操作范圍下，成功的建立了均勻的大氣壓介質(zhì)表面輝光放電（Atmospheric Pressure Surface Barrier Discharge，APSBD），并且產(chǎn)生多脈沖輝光放電（pseudo-glow discharge）。經(jīng)由改變實(shí)驗(yàn)的參數(shù)（外加電壓的振幅與頻率、He氣流流速），分別對(duì)多脈沖輝光放電的電性與光譜進(jìn)行量測與分析，進(jìn)而了解APSBD的物理性質(zhì)與電漿性質(zhì)。實(shí)驗(yàn)中，成功將外加電壓值與平均放電功率關(guān)系推導(dǎo)出一條二次曲線Pav=A(Vp-Vo)2，進(jìn)而求得電漿密度（約為109cm-3）。并且由光譜的診斷，求出APSBD的平均電子激發(fā)溫度（約為3000~3300K）。這兩點(diǎn)可以在不影響操作的前提下，量測APSBD的電性，同時(shí)可以掌握操作的情況，對(duì)于工業(yè)的應(yīng)用上有很大的助益。