“40年前，我國自主知識產(chǎn)權(quán)的板翅式換熱器專有技術(shù)出口到發(fā)達國家，該技術(shù)填補國內(nèi)空白，結(jié)束了板式全進口的歷史。”說起改革開放之初，我國的空分（空氣分離）設(shè)備第一次出口的歷史，杭州氧氣股份有限公司（以下簡稱杭氧）設(shè)計院主任張震仍然難掩自豪之情。
中國工業(yè)氣體協(xié)會的前身就是成立于1987年的全國空分氣體行業(yè)聯(lián)誼會，空分行業(yè)也一直被看做是工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展的“晴雨表”。歷經(jīng)40年的發(fā)展，我國的空分設(shè)備已經(jīng)取得了長足的進步，作為我國空分設(shè)備的領(lǐng)軍者，杭氧已經(jīng)在今年與神華寧煤研發(fā)的神華寧煤10萬等級空分設(shè)備實現(xiàn)了10萬等級空分設(shè)備設(shè)計制造、調(diào)試和運行技術(shù)的突破，使得“國產(chǎn)10萬等級空分設(shè)備實現(xiàn)了從‘百米跑’到‘馬拉松’的跨越。”
“隨著10萬以上等級空分技術(shù)上的全面突破，空分等級不再是制約我國空分技術(shù)發(fā)展應(yīng)用的因素，且大大提升了用戶對國產(chǎn)裝備的信心，為實現(xiàn)特大型空分系統(tǒng)全國產(chǎn)化推廣應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。空分技術(shù)發(fā)展將繼續(xù)帶動空分下游相關(guān)配套廠商的配套能力和水平的不斷升級。將形成相互促進發(fā)展的良性循環(huán)。”張震說，未來5年，中國空分市場繼續(xù)向大型化邁進，對7萬等級以上空分的需求達到60多套，超過480萬Nm3/h（氧），具有近200億元的市場，空分技術(shù)的發(fā)展具有不竭的驅(qū)動力。
空分技術(shù)的發(fā)展是我國整個工業(yè)氣體行業(yè)的一個縮影。目前，全行業(yè)形成了一個類似金字塔式的供氣模式和競爭格局，塔尖是管道氣現(xiàn)場制氣，幾乎為外資所壟斷；中間層是液態(tài)氣體，外資與國企、民企充分競爭；塔底是鋼瓶氣，其中大宗氣體3000多家民企充分競爭，小而散，特氣外資主導、部分國內(nèi)企業(yè)實現(xiàn)突破。
“隨著環(huán)保要求升級和行業(yè)競爭加劇，工業(yè)氣體行業(yè)面臨轉(zhuǎn)型和洗牌，要摒棄惡性競爭，用創(chuàng)新逐步填補國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品的空白。”金向華說。
缺“氣”局面亟待突破
盡管在鋼瓶氣等傳統(tǒng)及中低端產(chǎn)品方面，我國已經(jīng)形成了規(guī)模優(yōu)勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的差距還是比較明顯。“特氣是新興門類，在特定領(lǐng)域應(yīng)用。目前外資在產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規(guī)模上均具有較大優(yōu)勢，國內(nèi)還有很多特氣不能生產(chǎn)，很多產(chǎn)品還處于進口替代過程中。”廣東華特氣體股份有限公司總經(jīng)理傅鑄紅透露，目前全國的工業(yè)氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。
據(jù)洑春干介紹，電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產(chǎn)品就無法制造。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計，2016年我國晶圓制造電子材料市場總額達343.03億元，較2015年增長6.9%，預(yù)計2017年將達359.36億元。未來中國基于廣大的市場消費群體，預(yù)計仍將保持增長態(tài)勢。
經(jīng)過近10年發(fā)展，國內(nèi)電子氣體行業(yè)涌現(xiàn)了一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導體客戶接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)。從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，預(yù)計2017年將增加至28.4%。國內(nèi)電子氣體市場接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國內(nèi)自給率卻非常低，近八成產(chǎn)品依賴進口。
“有些電子氣體國內(nèi)并不是完全不能生產(chǎn)，但在技術(shù)精益性上與國際先進水平有差別。譬如氯化氫，國內(nèi)企業(yè)也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質(zhì)量恒定在高水平。”傅鑄紅說。
據(jù)了解，國家對電子氣體的發(fā)展一直比較重視，僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》提到要重點研發(fā)超高純電子氣體；發(fā)改委印發(fā)的《增強制造業(yè)核心競爭力3年行動計劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣。“我們應(yīng)抓住時機，通過自主創(chuàng)新，增加產(chǎn)品種類，提高國產(chǎn)化率，爭取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約。”
